这两套系统都是一鸣集团公司自己设计、自己制作的。目前已经通过分体式的测试和验证,却还没有进行组合式的测试和论证。
刘教授等人来得正好,可以见证华国第一台krf光刻机对接组装、调试和流片测试的整个流程。
他们算是运气好,碰到好机遇了。
“老师,我们这边已经做好准备,现在要不要对接激光光路系统和光刻机主体系统?”这时,胡明镇的学生梁宋松推开玻璃门,笑眯眯的前来征求指令。
胡明镇扫了一眼梁宋松递来的测试报告,见数据都很正常,微微点点头,“好,准备开始执行光刻机接驳工艺流程。”
这两套系统都是一鸣集团公司自己设计、自己制作的。目前已经通过分体式的测试和验证,却还没有进行组合式的测试和论证。
刘教授等人来得正好,可以见证华国第一台krf光刻机对接组装、调试和流片测试的整个流程。
他们算是运气好,碰到好机遇了。
“老师,我们这边已经做好准备,现在要不要对接激光光路系统和光刻机主体系统?”这时,胡明镇的学生梁宋松推开玻璃门,笑眯眯的前来征求指令。
胡明镇扫了一眼梁宋松递来的测试报告,见数据都很正常,微微点点头,“好,准备开始执行光刻机接驳工艺流程。”